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產品詳情
  • 產品名稱:小型等離子濺射儀

  • 產品型號:CY-PDM-V180
  • 產品廠商:亚游平台官网科儀
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簡單介紹:
CY-PDM-V180型小型等離子濺射儀,采用二極濺射方式,廣泛用于場發射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質量鍍膜試驗。采用陽極保護柵網,實現鍍膜過程中樣品表面保持常溫狀態,沒有熱損傷。該小型等離子濺射儀是基于PLC的強大控制系統,全部觸摸屏操作,可手動、半自動控制、全自動控制。
詳情介紹:

主要功能:

亚游平台官网 1、精細、超精細離子濺射導電膜制備;專業級金屬膜層試驗。

亚游平台官网 2、樣品等離子刻蝕清洗

主要特點:

1、濺射速度快。對于掃描電鏡或透射電鏡制樣,抽真空-濺射-泄真空15分鐘即可完成。

2、鍍膜質量高,可獲得精細晶粒膜層,膜層結合力強。可使用結晶更細的金屬靶材。

3、對樣品無熱損傷的冷濺射。

亚游平台官网 4、基于PLC的強大控制系統,全部觸摸屏操作,可手動、半自動控制、全自動控制。

5、真空高壓互鎖機制

6、標準的操作軟件,實時監控鍍膜電流、鍍膜真空、快速的技術支持,節約用戶費用。

7、樣品室: φ180mm X 150mm(H) 石英真空室

8、可選濺射 金或金鈀合金φ50mmX0.1mm

9、樣品臺: φ50mm 高度可任意調節

10、濺射電流:亚游平台官网 0-100mA

11、真空規:亚游平台官网 皮拉尼

12、濺射氣體: 氬氣

真空泵:CY-4Z 機械泵

選配

亚游平台官网 Pfeiffer 70 lps渦輪分子泵

15分鐘抽到5E-6Pa 極限真空。獲得超高真空環境,提高鍍膜質量

膜厚監控: 石英晶體膜厚監控器

樣品臺: φ75mm 旋轉樣品臺

亚游平台官网 φ100mm旋轉樣品臺(選此臺,膜厚監控器無法安裝)

旋轉傾斜樣品臺 (選擇此臺,無法實現樣品刻蝕功能)

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