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產品詳情
  • 產品名稱:小型3靶等離子濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-SP
  • 產品廠商:亚游平台官网科儀
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簡單介紹:
小型3靶等離子濺射鍍膜儀是一款緊湊型三旋轉靶等離子濺射鍍膜機,帶有觸摸屏數字控制器和能夠加熱至500℃的基板加熱器。小型3靶等離子濺射鍍膜儀可以將1-3種金屬材料涂覆到直徑為50mm的樣品上。 有三個濺射靶:金、銀、銅包括在內可立即使用。
詳情介紹:

小型3靶等離子濺射鍍膜儀產品性能:

小型3靶等離子濺射鍍膜儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。本機采用PLC控制面板對設備進行控制,操作方便直觀。該機設備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。

小型3靶等離子濺射鍍膜儀技術規格:

輸入功率

?    單相220 VAC,50 / 60Hz

?     700 W(包括真空泵)

?    對于使用110 VAC,我們將為您提供變壓器。

輸出功率

1600 VDC,40 mA max

真空室

?    真空室: 150 mm ID×165mm OD×150 mm H,由高純度石英制成

?    密封法蘭由不銹鋼制成,帶有扁平O形圈

帶加熱器的樣品臺

?    樣品臺尺寸:直徑50 mm.

?    濺射距離范圍: 25–40 mm可調

?    具有三個濺射位置的可旋轉平臺(由觸摸屏控制)

?    內置基板加熱器,zui高加熱溫度為500℃

?    觸摸屏集成了精度為+/- 1℃的PID溫度控制器

控制面板

?  6”彩色觸摸屏,PLC集成,操作簡便

? 真空計、濺射電流計和基板溫度控制集成在觸摸屏面板上

? 前面板上的調節旋鈕用于進氣和濺射電流控制

? 可通過觸摸屏訪問濺射位置,濺射計時器和過程記錄

防護罩

附帶不銹鋼防護罩,提供額外保護

濺射靶

靶材尺寸要求: 47 mm直徑×2.5 mm max

標準包中包含三個目標,可立即使用:

?    金靶,直徑47 mm×0.12mm

?    銀靶,直徑47 mm×0.5mm

?    銅靶,直徑47mm×2.5mm

CYKY可以訂購各種靶材

尺寸

440 mm L × 330 mm W × 455 mm H

凈重

50 kg

保證

一年有限終身支持

注意

高壓!濺射頭連接到高壓。為安全起見,操作員必須在樣品裝載和目標更換操作之前關閉設備。

由于能量低,該設備不適合涂覆輕金屬材料,如Al,Mg,Zn,Ni等。請考慮我們的磁控濺射涂布機或熱蒸發涂布機。

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