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產品詳情
  • 產品名稱:旋轉加熱等離子濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-PSC180H-1H
  • 產品廠商:亚游平台官网科儀
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簡單介紹:
旋轉加熱等離子濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用,集成度高,設計感強的優勢。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,客戶可以根據需要選擇1~3個靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。
詳情介紹:

旋轉加熱等離子濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,具有結構緊湊,簡單易用,集成度高,設計感強的優勢。等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,客戶可以根據需要選擇1~3個靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。鍍膜儀配有通氣接口,可以通入保護性氣體,若客戶需要通入混合氣體,可以聯系工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。

旋轉加熱等離子濺射鍍膜儀技術參數:

樣品臺

尺寸

Φ138mm

加熱溫度

*高500

控溫精度

±1

轉速

1-20rpm可調

等離子濺射頭

12寸等離子靶

真空腔體

腔體尺寸

Φ180mm×150mm

腔體材料

高純石英

觀察窗口

全向透明

開啟方式

頂蓋拆卸式

前極泵

VRD-4

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S 

極限真空

1.0E-1Pa

抽氣接口

KF16

排氣接口

KF16

真空測量

數字真空計

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

800W

濺射真空

20Pa

整機尺寸

360mm300mm470mm

整機重量

30Kg


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