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產品詳情
  • 產品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-PSP180G-3TA-WRS
  • 產品廠商:亚游平台官网科儀
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簡單介紹:
本型號小型等離子濺射儀,采用二極濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中樣品表面常溫狀態,沒有熱損傷。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,樣品放在樣品臺上即可對準不同的濺射靶,實現多層鍍膜的切換。同時該型號等離子濺射儀配備三組水冷型濺射靶,能夠有效控制發熱,維持長時間的濺射作業。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。設備體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
詳情介紹:

技術參數:

產品型號

CY-PSP180G-3TA-WRS

樣品臺

直徑φ134mm,可旋轉

直流濺射頭

2x3

腔體材質

高純石英

腔體尺寸

φ180mm X 210mm

真空泵

旋片泵

極限真空

1.0Pa

真空接口

KF16真空法蘭

進氣口

φ6.35卡套接頭