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產品詳情
  • 產品名稱:多弧離子鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MIOP400S-2TA
  • 產品廠商:亚游平台官网科儀
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簡單介紹:
本設備為多弧離子鍍膜設備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果 該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。
詳情介紹:

功能特點:

離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。


技術規格:

多弧離子鍍膜儀

樣品臺

尺寸

行星式樣品臺,外徑305mm,四周六工位

工件可懸掛于各工位的支撐棒上

外周轉速1~20rpm可調

多弧離子靶

數量

φ84mm X 2

真空腔體

腔體尺寸

φ300mm X 400mm 

觀察窗口

前置φ100mm含遮光片

 

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

膜厚控制

晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

真空系統

前級泵

雙極旋片泵

抽氣接口

KF16

 

次級泵

渦輪分子泵

抽氣接口

CF160

 

真空測量

電阻+電離

復合真空規

排氣速率

機械泵1.1L/s

分子泵 600L/s

 

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

 

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

控制系統

自動控制

操作界面:觸控屏+操作面板

 

其他

供電電壓

AC380V,50Hz

整機尺寸

1000mm X 800mm X 1500mm

 

整機功率

5kW

整機重量

350kg